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行業動態 行業動態

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專注力于半導體設備電耐腐蝕性軟件測試

國產數字源表(SMU)和探針臺測試應用案例

來源:admin 時間:2024-03-06 13:16 挑選量:3184

1、MPD晶圓測試

測試設備:激光(guang)脈沖源表P300+測試探針(zhen)臺

異常現象:測試中存在一個3nA左(zuo)右(you)的漏電流(liu)

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圖:錯誤測量曲線方程圖

異常原因:測試現場(chang)的(de)連接線屏蔽層接地(di)不達標(biao),外界(jie)電(dian)磁環境的(de)作用下使設(she)備對(dui)大地(di)的(de)電(dian)位發生變化,造(zao)成設(she)備工作不穩定

優化措施:將屏蔽層接地

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圖:seo后各種測試曲線擬合圖


2、三極管測試

測試設備:2臺直流變壓器源表(biao)S300+測(ce)試探針臺

異常現象:源表(biao)輸出0-3V的電(dian)壓(ya)掃描,當輸出的電(dian)壓(ya)小于0.5V時(shi),源表(biao)回讀(du)的電(dian)壓(ya)值為-0.5V

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圖:越來越檢驗結果

錯誤愿意:探頭(tou)臺不有的接(jie)地,探頭(tou)臺節構上有金屬(shu)質,在(zai)通電(dian)的環鏡中會(hui)有靜(jing)電(dian)反應,進而對各種測(ce)試導致帶動應響

改進對策:將檢測器(qi)臺實現高壓導線(xian)和接入中國大(da)地(di)

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圖:改進后檢查最后

3、芯片測試

測試設備:直流電源源表(biao)S300+測試探針(zhen)臺

異常現象:源表未轉(zhuan)換(huan),測試(shi)探針冒(mao)火星子

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圖:無效檢測-電極冒電火花

異常原因三同水平線纜GUARD走勢浮空。GUARD走勢如連入合理的,其電勢與走勢層主要不一,,因此漏電很低,若想對走勢充當好幾個定的保護性目的;不過GUARD走勢浮空,其與走勢層的電勢差更大,其實漏電更大,對走勢的會影響相當大

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優化措施:將GUARD移動電磁(ci)波連(lian)通源表,使GUARD移動電磁(ci)波促使護理影響

4、PD測試

測試設備:直流源表S300+探針臺

異常現象:源表在(zai)100nA的量程下(xia),輸出(chu)-2V電(dian)壓,實際顯(xian)示(shi)-2.69V

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圖:發(fa)現異常(chang)公測最終結果

異常原因:客(ke)戶使用的同(tong)軸(zhou)線接觸(chu)不良,探針(zhen)臺(tai)沒有接地

優化措施:更換新的同軸線,將探針臺通過(guo)導線接入(ru)大地(di)


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圖:優化網絡后各種測(ce)試可(ke)是

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