1、前言

        在光電元元器件和配合電路體系加工制作工藝 中，素材、晶圓、處理芯片的軟件考試是必必須少的基本原則。跟隨光電元元器件軟件考試高技術的進步，號碼1源表SMU配合自測探頭臺的體系搭檔早已經被多適用于素材/細小元元器件的電學形態手機驗證中。號碼1源表SMU要具備源測功能表，不錯存在直流電-電阻值(I-V)形態擬合曲線，是光電元元器件素材、元元器件電能力研究方法自動式測量的本質；自測探頭臺有清理、全自動式和全自動式這幾種，按照其軟件考試必須 首選生活配套的產品的既能。在建議選用時必須 主要自測探頭的才質和針尖的長度與外觀，自測探頭才質各個，其特性阻抗也一模一樣；除此以外，自測探頭尖受損和嚴重污染也會對軟件考試報告單導致的影晌。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、探頭、DUT接入關心

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        電極臺(tai)與源表(biao)的相對接較為常見有(you)有(you)兩種，本身便用(yong)同中(zhong)線相對接，另本身便用(yong)三(san)同中(zhong)線相對接。當精(jing)確測量小直(zhi)流電壓(ya)(nA、pA)時，應(ying)便用(yong)三(san)同軸轉移組件和三(san)同中(zhong)線纜。在連(lian)接源表(biao)守(shou)護(hu)新風系(xi)統的測評(ping)電線中(zhong)，因此(ci)三(san)同軸的守(shou)護(hu)層與內芯之間(jian)是等(deng)電勢(shi)，不(bu)會漏直(zhi)流電壓(ya)產生(sheng)，都可(ke)以增長小直(zhi)流電壓(ya)測評(ping)高(gao)精(jing)準度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2隔絕；3內屏避了層；4里頭層；5外屏避了層；6外護線套）

圖：三同水平線纜等效控制電路原理

  上圖圖示為三同中心線材等效電源原理圖，輸出電壓高級HI和Guard之間的電勢差可以說為0，故而清理線材政治意識的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S型號直流電源源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸相連器與尋常兩芯相連器有著其他，可時接駁走勢、跨接和屏弊層，屏弊效用好。和多芯纜線差距，三同軸纜線節構單純，不靠譜高；和兩芯同軸纜線差距，存在更為重要的屏弊機械性能和小走勢的傳導水平。三同軸纜線的相連方式英文的使用了GUARD走勢，具有了屏弊幫助，更極為有利的于小走勢的預估。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

用杜邦線轉BNC母頭展開無線連接；

- 三同軸連接 -

操作三同軸連接方式引擎展開連接方式。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

簡單使用的三同水平線實施接入；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將通常的三同軸換新為高壓低壓多功能三同基準面；各類髙壓三同軸金屬插頭的擊穿電壓意識良好，普賽斯便用的各類髙壓三同軸金屬插頭可以擊穿電壓3500V。

圖：左-各(ge)類高(gao)壓三同軸、右(you)-普通的(de)三同軸

HCPL 100大電流源表

大電壓直流電自動測量時，單根電極限制值的電壓直流電有限責任，電壓直流電過大也許 會因起燒針原因，反應測試后果，因為必須要 應用多電極串聯。

圖：多測試探針串聯表示

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面電級接關心

圖：異面電極(ji)片(pian)聯(lian)接表示(shi)

4、測試注意事項

-探針臺接地：探(tan)針臺(tai)(tai)結構上有很(hen)多金(jin)屬，在(zai)帶電的(de)環境下會(hui)(hui)存在(zai)很(hen)強的(de)靜電，一般(ban)探(tan)針臺(tai)(tai)會(hui)(hui)自(zi)帶大(da)地(di)(di)(di)(di)連(lian)接(jie)(jie)(jie)線，使用中將探(tan)針臺(tai)(tai)接(jie)(jie)(jie)大(da)地(di)(di)(di)(di)，避免(mian)釋(shi)放靜電給測試帶來影響。一般(ban)地(di)(di)(di)(di)線分為兩類：一種是(shi)工作接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)，另(ling)一種是(shi)安(an)全(quan)性接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)。工作接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)是(shi)把金(jin)屬導(dao)體銅(tong)塊埋在(zai)土壤(rang)里， 再通(tong)過導(dao)線引出地(di)(di)(di)(di)面，將導(dao)線接(jie)(jie)(jie)入設備的(de)接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)端口，形成(cheng)接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)回路。 安(an)全(quan)性接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)是(shi)指使用探(tan)針臺(tai)(tai)金(jin)屬外殼(ke)自(zi)帶的(de)接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)線進行接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)，當探(tan)針臺(tai)(tai)金(jin)屬外殼(ke)發(fa)生絕緣損壞，外殼(ke)帶電時，電流沿著(zhu)其外殼(ke)自(zi)帶的(de)接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)(di)線接(jie)(jie)(jie)入大(da)地(di)(di)(di)(di)，以達到安(an)全(quan)的(de)目的(de)。

-連接線接地：探(tan)針臺的(de)(de)連接(jie)線(xian)(xian)(xian)為同(tong)軸(zhou)(zhou)(zhou)線(xian)(xian)(xian)，兩根同(tong)軸(zhou)(zhou)(zhou)線(xian)(xian)(xian)的(de)(de)內芯是信(xin)號線(xian)(xian)(xian)，從而導(dao)致兩根同(tong)軸(zhou)(zhou)(zhou)線(xian)(xian)(xian)的(de)(de)外屏蔽層懸空，未起到屏蔽的(de)(de)作用，在(zai)磁場環(huan)境復雜的(de)(de)情況下會對測試產生較大的(de)(de)干擾。因此，為了獲得較好的(de)(de)測試效果，需要將同(tong)軸(zhou)(zhou)(zhou)線(xian)(xian)(xian)纜(lan)的(de)(de)外屏蔽層接(jie)入工(gong)作地線(xian)(xian)(xian)。

-關閉光源：很(hen)多(duo)器(qi)件和材料對(dui)光源(yuan)敏(min)感，測(ce)試(shi)中如果不關閉光源(yuan)會影響(xiang)(xiang)測(ce)試(shi)結果，所以測(ce)試(shi)時盡量在無光源(yuan)影響(xiang)(xiang)的環(huan)境中進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試電流為pA級別(bie)，需要給探針臺增加(jia)屏蔽罩。

-異面電極材料連接：異(yi)面電極材料(liao)連接時通常(chang)會(hui)使(shi)用(yong)探針臺Chuck盤做電極，但是Chuck盤的平(ping)整度會(hui)對(dui)材料(liao)的接觸面有影(ying)響，那么此時就需要使(shi)用(yong)引電極。